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ナノチューブをLSI配線に応用する新技術開発=富士通研究所[020708]

1 : ◆GEDOw/Q2 @外道φ ★:02/07/08 18:41 ID:???
富士通研、ナノチューブをLSI配線に応用する新技術

 富士通研究所は7月8日、カーボンナノチューブをLSIの配線に応用できる
新技術を開発したと発表した。実用化すれば、配線の低抵抗化や微細化が
期待できる。

 開発したのは、MOSFETの電極となるシリサイド層(シリコンと金属が
結合した層)上に、多層カーボンナノチューブを垂直成長させる技術と、
チューブの直径を制御する技術。

 メタンと水素の混合ガスを利用する「プラズマ化学気相成長法」を
利用して、基板に垂直な電界と同じ方向にチューブを成長させる。
与える電界の向きによって、チューブの成長方向を制御できる。

 またシリサイド層の組成を工夫することで、チューブの直径を約半分に
できる直径制御技術も開発した。
(略)
----
※以上引用。全文・詳細は原典記事参照。
※原典記事:http://www.zdnet.co.jp/news/0207/08/njbt_07.html
※ZDNet News JAPAN(http://www.zdnet.co.jp/)2002/07/08配信
----
※画像あり
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※関連リンク:http://pr.fujitsu.com/jp/news/2002/07/8-1.html

2 :信長:02/07/08 18:42 ID:vp7GERCW
デアルカ

3 :名無しさん@3周年:02/07/08 18:42 ID:m8lGXetU
久々の2?

4 :名無しさん@3周年:02/07/08 18:42 ID:B4g4+NbE
2

5 :128改 ◆TLe2H2No :02/07/08 18:42 ID:YAUBy7Sn


6 :2:02/07/08 18:42 ID:FrlKi/hS
にげと

7 :6:02/07/08 18:42 ID:FrlKi/hS
ちっ

8 :名無しさん@3周年:02/07/08 18:42 ID:ncKJI5YC
キタ━━━━━━(゚∀゚)━━━━━━!!!

9 :名無しさん@3周年:02/07/08 18:43 ID:4YyMIg0Y
科学って素晴らしい

10 :名無しさん@3周年:02/07/08 18:43 ID:nAKD96k5
あー夏やすみーナノ?チューブ

11 :◆1....... :02/07/08 18:45 ID:B4g4+NbE
カーボンなの。

12 :名無しさん@3周年:02/07/08 18:46 ID:UrPp37U7
俺の妹のミンキーモモのステッキで男二人で変身ごっこをしたことがある。
部屋の中にありったけの服を引っ張り出し、次々と変身しまくった。奇声をあげ、ステッキと共に回った。
ベランダに出て、二人で協力して悪者退治もした。
暴れ過ぎてステッキの先の電動でクルクル回るところが外れてしまった。
その晩、妹がそのステッキを見て泣いていた。
俺達も妹も、もうそのステッキでは変身出来なくなってしまった


13 :名無しさん@3周年:02/07/08 18:47 ID:m8lGXetU
ちっ!2だと思わなかったら,書き込まなかったんだが
信長めー、昨日の本能寺で死んだはずなのに・・・

カーボンナノチューブ?知らんねー
炭素にレーザー当てて出来るヤシだったけ
立体構造がダイヤモンドに似てるヤシだっけ?
よく分からんw

14 :名無しさん@3周年:02/07/08 18:50 ID:emFOExrW
1読んだけど さっぱり意味わかんない 科学の進歩か〜

15 :名無しさん@3周年:02/07/08 18:50 ID:BB1Xw4YK
カーボンナノチューブキター!!!!!!!!


16 :128改 ◆TLe2H2No :02/07/08 18:51 ID:YAUBy7Sn
なはなはー


17 :名無しさん@3周年:02/07/08 18:51 ID:+VNX80+m
>>12
せつない・・・。

>>13
カーボンがナノ(10のマイナス9乗)メートルで
チューブ条になっているものです。
伝導性とか期待される性質いっぱい。
フラーレン(サッカーボール状に炭素が並んだ物質)を
作るときに一緒にできます。
割と安い。
でも、狙って成長させるのはなかなかむずいね・・・。

18 :17:02/07/08 18:52 ID:+VNX80+m
誤字発見。
チューブ条→チューブ状

19 :名無しさん@3周年:02/07/08 18:53 ID:fiKJxBoJ

エノキタケみたいだね。


20 :名無しさん@3周年:02/07/08 18:56 ID:zefwvJM4
カーボンナノチューブ実用化キター!!

21 :名無しさん@3周年:02/07/08 18:56 ID:+P2lNcG+
アンドロイド誕生の予感

22 :名無しさん@3周年:02/07/08 19:07 ID:HPMoZYsI
この際はっきり言っとくが、

難 し す ぎ で す

23 :名無しさん@3周年:02/07/08 19:08 ID:9Jz8Ze3z
何のチューブ?

24 :名無しさん@3周年:02/07/08 19:10 ID:naUFZ1u3
>>23
カーボン。C。

25 :ワク((o(=´ー`=o)(o=´ー`=)o))ワク:02/07/08 19:12 ID:DNfS2Q0V
金属内包フラーレンはぁ〜〜??♪

26 :名無しさん@3周年:02/07/08 19:20 ID:xsIHus1j
>>18
細かいこと気にするなよ。

27 :名無しさん@3周年:02/07/08 19:23 ID:nAKD96k5
難しいのでスレが伸びない予感・・・。

28 :名無しさん@3周年:02/07/08 19:23 ID:KhQKIrwg
シリコンのフラーレンとかシリコンナノチューブってないの?

29 :名無しさん@3周年:02/07/08 19:28 ID:s7iLeDuI
メリットとしては低抵抗化で熱が抑えられるってことと
低電力で動かせるてことなのかな。

微細化できる理由がよくわからないな。
熱を発生しづらいから配線間の間隔をせまくできるってことかな?

30 :名無しさん@3周年:02/07/08 19:28 ID:zefwvJM4
>>28
ないよ。あれは炭素だからこそできるんじゃないかと。

31 :名無しさん@3周年:02/07/08 19:29 ID:3/8MQLWC
なんだこれ?
アルミ層の代用ってことか?

32 :名無しさん@3周年:02/07/08 19:30 ID:zefwvJM4
LSIとかに使ったら。(゚д゚)ウマ-

33 :名無しさん@3周年:02/07/08 19:30 ID:52hVKRM/
Cuよりいいのか?


34 :名無しさん@3周年:02/07/08 19:31 ID:zefwvJM4
>>33
何が?

35 :名無しさん@3周年:02/07/08 19:31 ID:Q/Yyx2RU
この前ウチの先生がフラーレンについて講義で熱く語ってたよ。



いや、俺は寝てたけどね。うん。

36 :名無しさん@3周年:02/07/08 19:32 ID:JYpzjJyD
配線材料の事だろ?

37 :名無しさん@3周年:02/07/08 19:34 ID:IS16iQ16
よくわかった
まったく理解できないということが
先生ーわかりやすく、噛み砕いて説明お願いします

38 :名無しさん@3周年:02/07/08 19:38 ID:oK+Cg5vg
アスロンに使ったら二酸化炭素に変化するのは必至ですか?

39 :名無しさん@お腹いっぱい。:02/07/08 19:39 ID:HUui+t+H
>>30
シリコンフラーレン
http://www.semicon-news.co.jp/forum/htm/ev011114-j.htm

シリコンナノチューブ
http://www.ricoh.co.jp/abs_club/Science/Science-2001-0817.html

40 :名無しさん@3周年:02/07/08 19:43 ID:zefwvJM4
>>37
>>17を見れ。

つけ加えると、形はトイレットペーパーの芯を想像するとよい。
芯は中が空洞でしょ?その空洞の部分に何かしら入れると、
凄い性能を発揮するんじゃないか?と期待されている物質。

>>39
情報サンクス。おいらが無知でした。

41 :窓際国会議員 ◆Dqn2CH0I :02/07/08 19:45 ID:noiOAr45
( ´D`)ノ< ちくわにキュウリを入れて、しょうゆにつけて食べると
        ちくわだけよりおいしいということれすか?

42 :名無しさん@3周年:02/07/08 19:47 ID:YjqAhmB0
この前ウチの先生がプラレールについて講義で熱く語ってたよ。



いや、俺もいっしょにレイアウト組んでたけどね。うん。

43 :名無しさん@3周年:02/07/08 19:53 ID:IS16iQ16
>>40
ありがd

フラーレンって最近テレビで見た気がする
何年も前に発見してたのに気づかなかったとかいうやつ

44 :名無しさん@3周年:02/07/08 19:55 ID:IBOl3sLZ
実際に配線に使うには、チューブ同士を導電材で繋ぐのかな?

>>41
キュウリの代わりに、チーズをいれるとまた違った味わいが楽しめるということです。

45 :名無しさん@3周年:02/07/08 19:56 ID:fklqVWiV
カーボンナノチューブってなに?


46 :名無しさん@3周年:02/07/08 19:59 ID:5lE9L9CI
>>45
おもしろい。

>>44
金属の間に蒸着させるんじゃないの?

47 :名無しさん@3周年:02/07/08 20:00 ID:lL+xCCXY
パイプカットしましたがなにか?

48 :名無しさん@3周年:02/07/08 20:10 ID:RB107gzy
激しくslashdot向けの情報だとオモタ。

49 :名無しさん@3周年:02/07/08 22:25 ID:KXJgYiNv
難しすぎてレスが伸びない模様。



50 :名無しさん@3周年:02/07/08 22:42 ID:8K/IASRO
カーボンナノチューブ期待あげ。

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